
炬將科技股份有限公司
半導體設備
鈑金在半導體設備主要是用於製造設備的結構和外殼,提供良好的封裝、保護和散熱。以下是鈑金在半導體設備中的一些常見應用:
半導體製程設備外殼:金屬板材用於製造半導體製程設備的外殼和結構。這些設備包括化學氣相沉積(CVD)機、物理氣相沉積(PVD)機、蝕刻機、濺鍍設備等。鈑金外殼為內部複雜的電子元件和機械結構提供了極佳的保護。
散熱模組:在高功率半導體設備中,鈑金用於製造散熱模組。這些模組通常包括翅片散熱器和冷卻風扇,金屬板可有效散熱並保持穩定的工作溫度。
封裝和密封:金屬板用於半導體封裝製程中,以製造封裝框架和密封結構。這些封裝組件可以保護半導體晶片,提供機械支撐和保護,並防止濕氣和污染物進入。
真空室:在某些半導體設備中,鈑金用於製造真空室,例如離子濺射設備、等離子蝕刻設備等。鈑金提供高真空密封和腐蝕阻力。
氣體和液體管道:在半導體設備中,鈑金用於製造氣體和液體管道系統,用於將不同的氣體和液體引導至各自的製程區域。鈑金管需要具有耐高壓、耐腐蝕的特性。
這些是金屬板材在半導體設備中的一些常見應用。鈑金在半導體製造業中發揮著至關重要的作用,為半導體設備的製造和運作提供必要的結構和功能。
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