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半導體相關陶瓷配件

應用於半導體/光電製程設備零組件之精密陶瓷零組件，必須具結構強度好、耐高溫、耐高壓、精度好、平行度好、組織緻密均勻、強度高。常見的陶瓷材料有氧化鋁(Al2O3)、氧化鋯(ZrO2)、石英(Quartz)、氮化矽(Si3N4)、碳化矽(SiC)陶瓷等。